通过背板测量

MEMS麦克风由在一个或两个有孔背板之间振动的振膜组成。 每个隔膜的形貌和振动模态的测量非常具有挑战性：
想要透过底板测量振动膜。 需要非常高的横向分辨率。同时1μm厚度的底板硅膜在可见光和近红外光下几乎是不可见的。 所有需要使用紫外激光源。
参数
隔膜直径：100μm
放大倍数：20倍
横向分辨率：0.5μm
激励频率：1 kHz
仪器：DHM R-1000配备紫外激光光源
振动模态测量
幅度振动图显示当频闪单元以1kHz频率激励麦克风作为扬声器时的振膜振动。 下图为两个膜片的第一振动模态。